特許
J-GLOBAL ID：200903016954036846
真空ロード・アンロード方法および真空ゲートバルブならびに真空搬送容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181802
公開番号（公開出願番号）：特開平9-032966
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 従来の真空処理装置と真空搬送容器との間で被搬送物をロード・アンロードするためには、各々真空ゲートバルブが必要でかつロードロック室が必要で設備機器点数が多くなっていた。【解決手段】 本発明による真空ロード・アンロード方法及び真空ゲートバルブならびに真空搬送容器は、真空処理装置(9)と真空搬送容器(6)とを真空ゲートバルブ(1)を介して接続し、真空ゲートバルブ(1)は少なくとも1枚がステム(3)と着脱可能な2枚のシールプレート(4a,4b)を具備し、シールプレート(4a)が真空搬送容器(6)の開口部(7a)を直接気密状態に覆うことにより全体形状を小形・軽量化する構成である。
請求項（抜粋）：
真空処理装置(9)と真空搬送容器(6)とがそれぞれの開口部(9a,7a)を2枚のシールプレート(4a,4b)を内蔵する真空ゲートバルブ(1)を介して気密状態に接続され、前記真空処理装置(9)の開口部(9a)は一方の前記シールプレート(4b)により気密状態に仕切られ、前記真空搬送容器(6)の開口部(7a)は他方の前記シールプレート(4a)により気密状態に仕切られ、前記真空処理装置(9)と前記真空搬送容器(6)との間で被搬送物を移動させる場合は、前記真空処理装置(9)および前記真空搬送容器(6)の開口部(9a,7a)が前記シールプレート(4b,4a)により気密状態に仕切られた前記真空ゲートバルブ(1)の閉状態から、まず、前記真空ゲートバルブ(1)内を吸引排気して真空状態とし、つぎに、2枚の前記シールプレート(4b,4a)を前記真空処理装置(9)および前記真空搬送容器(6)の開口部(9a,7a)の仕切り状態から開放し、つぎに、2枚の前記シールプレート(4a,4b)を開方向に退避させて前記真空ゲートバルブ(1)を開状態とし、前記真空搬送容器(6)を前記真空ゲートバルブ(1)から分離する場合は、前記真空処理装置(9)および前記真空搬送容器(6)の開口部(9a,7a)が前記シールプレート(4b,4a)により気密状態に仕切られた前記真空ゲートバルブ(1)の閉状態から、まず、前記真空ゲートバルブ(1)内に給気して大気圧とし、つぎに、前記真空搬送容器(6)の開口部(7a)を仕切る前記シールプレート(4a)を前記真空ゲートバルブ(1)から分離し、つぎに、前記開口部(7a)を前記シールプレート(4a)で気密状態に仕切られた前記真空搬送容器(6)を前記真空ゲートバルブ(1)から分離する、ことを特徴とする真空ロード・アンロード方法。
引用特許：
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