フィルムに対する異物検査方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259630
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065966
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】粒子などが存在するフィルムの中から、迅速かつ高精度な異物検査を可能にするフィルムに対する異物検査方法とその装置を提供することにある。【解決手段】光学的特性が異なる粒子などが存在するフィルム状被検査対象に対して、斜方照明と落斜照明の2系統の検出光学系を備え、照明光の照射角および照明光の波長を選択することで、撮像される画像から異物とフィルム中に存在する粒子などの濃淡度の相違を検出し、これに基づいて異物を弁別し、さらに異物種、大きさ、異物の検出座標情報を検査結果として出力することで、製品の品質管理を改善する。

請求項（抜粋）：

フィルム状被検査対象を連続的に走行させる走行工程と、該走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対して斜方照明光学系により斜方照明光を集光して照射し、前記フィルム状被検査対象から得られる散乱反射光を検出光学系により集光して撮像装置で受光して明るい背景を有する第1の画像信号を検出し、該検出される明るい背景を有する第1の画像信号を基に、該背景と異なる明るさを有する前記フィルム状被検査対象のフィルム中に存在する非金属種の異物若しくはその候補を検出する判定処理を行う第1の異物検出工程と、前記走行工程で走行されるフィルム状被検査対象に対して落射照明光学系により落射照明光を集光して照射し、前記フィルム状被検査対象から得られる正反射光に近い光を検出光学系により集光して撮像装置で受光して暗い背景を有する第2の画像信号を検出し、該検出される暗い背景を有する第2の画像信号を基に、該背景と異なる明るさを有する前記フィルム状被検査対象のフィルム中に存在する金属種の異物若しくはその候補を検出する判定処理を行う第2の異物検出工程とを有することを特徴とするフィルムに対する異物検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/892 , G01B 11/08 , G01B 11/28 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/892 A , G01B 11/08 H , G01B 11/28 B , G01B 11/30 A

Fターム (37件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA26 , 2F065AA58 , 2F065BB13 , 2F065BB23 , 2F065CC02 , 2F065FF04 , 2F065GG03 , 2F065GG24 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL15 , 2F065LL22 , 2F065PP16 , 2F065QQ04 , 2F065QQ31 , 2G051AA41 , 2G051AB01 , 2G051BA04 , 2G051BB01 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01

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