特許

J-GLOBAL ID：200903016958557441

放射線検出装置

発明者： 岡田 聡
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217445
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031687
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 X線センサーのシグナルSとノイズNの比S/Nの劣化を抑え、高感度な放射線検出装置を提供することにある。【解決手段】 基板上に光電変換素子とスイッチ素子によって形成されたX線センサーパネルにおいて、素子上部に少なくとも一層の第一の保護層が形成され、第一の保護層の上面に反射防止膜がパターン形成されており、パターン形成された反射防止膜の上部に波長変換体が形成されていることを特徴とする放射線検出装置。

請求項（抜粋）：

基板上に光電変換素子とスイッチ素子によって形成されたX線センサーパネルにおいて、素子上部に少なくとも一層の第一の保護層が形成され、第一の保護層の上面に反射防止膜がパターン形成されており、パターン形成された反射防止膜の上部に波長変換体が形成されていることを特徴とする放射線検出装置。

IPC (4件)：

G01T 1/20 ,  G01T 1/202 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/32

FI (6件)：

G01T 1/20 B ,  G01T 1/20 D ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/202 ,  H04N 5/32 ,  H01L 31/00 A

Fターム (23件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG10 ,  2G088GG16 ,  2G088JJ05 ,  5C024AX11 ,  5C024CX03 ,  5C024CX41 ,  5C024EX00 ,  5C024EX51 ,  5C024GX03 ,  5C024GX09 ,  5C024GX16 ,  5C024GY31 ,  5C024HX40 ,  5F088AA01 ,  5F088AB01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088EA02 ,  5F088HA03 ,  5F088HA20 ,  5F088LA08