特許
J-GLOBAL ID：200903016963651456
化学分析用マイクロフローモジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斎藤 侑 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-536231
公開番号（公開出願番号）：特表2001-513882
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：
【要約】本発明は化学分析用マイクロフローモジュールに関する。本発明の目的は試料の迅速な交換が可能な、したがって高速反応を時間分解能と小さい時定数をもって低コストで測定し得るような、かつ必要に応じて走査型熱量計としての測定が可能なマイクロフローモジュールを提供することである。この目的を達成するため、同マイクロフローモジュールは、2つの流入路(12,13)が接続されたY字形に分岐した流入領域(11)を有する細長の流路領域(10)を備えた第1のチップ(1)を含み、同第1のチップ(1)を覆うように、その流路側に少なくとも1つの薄膜型感熱素子(21)を有する第2のチップ(2)を結合して成る。
請求項（抜粋）：
1 2つの流入路(12,13)が接続されたY字形に分岐した流入領域(11)を有する細長の流路領域(10)を備えた第1のチップ(1)を含み、同第1のチップ(1)を覆うように、その流路側に少なくとも1つの薄膜型感熱素子(21)を有する第2のチップ(2)を結合したマイクロフローモジュール。2 前記薄膜型感熱素子(21)に対して、第1の絶縁層(22)を隔てて薄膜型加熱素子(23)を設けたことを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。3 第1のチップ(1)内の細長の流路(10)の両側にそれぞれ気体を充填したチャンバー(14)を備えることを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。4 前記薄膜型感熱素子(21)が少なくとも1つの、複数の熱電対接点から成るサーモパイル(211)により形成され、その高温接点(214)が細長の流路領域(10)の上に、低温接点(215)がマイクロフローモジュールのヒートシンク領域に配置されることを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。5 前記数個のサーモパイル(211,212,213)が前記細長の流路領域(10)の上に相互に隣接して設けられ、個々のサーモパイル(211,212,213)の出力信号をも、すべてのサーモパイル(211〜213)の出力信号の和をも読み取ることを可能にしたことを特徴とする、請求項4のマイクロフローモジュール。6 前記第2のチップ(2)に、Y字形に分岐した流入路領域(11)の近傍に別の薄膜型加熱素子(25)を設けたことを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。7 前記第1および第2のチップ(1,2)がガラス製であることを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。8 前記第1および第2のチップ(1,2)がシリコン製であることを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。9 前記第1のチップ(1)がガラス製であり、第2のチップ(2)がシリコン製であることを特徴とする、請求項1のマイクロフローモジュール。10 前記細長の流路領域(10)に接して前記第2のチップ(2)に膜形成用の凹部(26)を形成し、かつ支持フレーム(27)を残すことを特徴とする、請求項1または9のマイクロフローモジュール。11 前記第1のチップ(1)と電気的ユニット(22,23,25)を保持する第2のチップ(2)とを接着層(28)により結合したことを特徴とする、請求項1、7、8または9のマイクロフローモジュール。12 前記第1のチップ(1)と電気的ユニット(22,23,25)を保持する第2のチップ(2)とを陽極的結合(anodisches Bonden)により結合したことを特徴とする、請求項1、7、8または9のマイクロフローモジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 25/40
, H01L 35/32 A
