特許
J-GLOBAL ID：200903016973368876
ハンドラの恒温槽内のデバイス搬送機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349929
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185994
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 ソークステージのICの位置や姿勢角にばらつきがあっても、デバイスチャックで確実に吸着できるようにする。【解決手段】 各アーム3bの係合孔の内周面とデバイスチャック21との間及び天井壁の貫通孔28eの内周面とコンタクトイン駆動軸32′との間にそれぞれ遊び(フローティング)を設ける。各駆動軸32′,33′,34′にデバイスチャック21の頂部と係合して結合/分離可能なジョイントヘッド53が形成される。コンタクトイン駆動軸32′はXYZθステージ54により駆動される。ソークステージのDUTとその周辺の画像データをカメラ55で取込み、制御部56はそのデータよりDUTの位置及び姿勢角のずれを計測し、それに合わせてデバイスチャックをX,Y,θ方向に駆動するようにXYZθステージ54を制御する。同様にコンタクトプレス駆動軸と結合したデバイスチャックをICソケットの位置及び姿勢角に合わせることもできる。
請求項（抜粋）：
回転軸を持ち、その回転軸より3本のアームが120°間隔で放射方向に突設されたロータリアームと、そのロータリアームの各アームの先端部に昇降自在に取付けられたデバイスチャックと、ローダ部より供給されたDUT(被試験試料)をDUT受渡し位置に搬送するソークステージと、測定終了したDUTをアンローダ部へ搬送するエクジットステージと、前記ソークステージのDUT受渡し位置と、測定部のICソケットの位置と、前記エクジットステージのDUT受取り位置の各上空の恒温槽の天井壁を貫通して取付けられ、下方に配された前記デバイスチャックをそれぞれ駆動するコンタクトイン駆動軸、コンタクトプレス駆動軸及びコンタクトアウト駆動軸と、を有するハンドラの恒温槽内のデバイス搬送機構において、前記ロータリアームの各アームの先端部に設けられ、前記デバイスチャックを上下方向に挿通させる係合孔と、その係合孔の内周面とその係合孔に挿通された前記デバイスチャックの外周面との間に設けられたデバイスチャック用遊び(フローティングと言う)と、前記コンタクトイン駆動軸の外周面とその周りの前記天井壁の貫通孔の内周面との間に設けられたコンタクトイン駆動軸用フローティングと、前記3種の駆動軸の下端部にそれぞれ設けられ、前記デバイスチャックの頂部と係合して結合または分離可能なジョイントヘッドと、前記天井壁の外側に設けられ、前記コンタクトイン駆動軸を駆動するXYZθステージと、前記ソークステージのDUT収納凹部内のDUTとその周辺の画像データを得るソークステージ用カメラと、そのソークステージ用カメラで得られた画像データよりDUTの位置及び姿勢角のずれを計測し、それらの計測値に応じて、互いに結合された前記コンタクトイン駆動軸及びデバイスチャックをX,Y,θ方向に駆動するように、前記XYZθステージを制御する制御部と、を有することを特徴とするハンドラの恒温槽内のデバイス搬送機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, B25J 15/06 N
