特許
J-GLOBAL ID:200903016976620398

ダイシングテープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 国則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-301022
公開番号(公開出願番号):特開平5-114647
出願日: 1991年10月21日
公開日(公表日): 1993年05月07日
要約:
【要約】【目的】 静電気が帯電せず、放電現象が発生することのないダイシングテープを得、半導体素子回路内部の電気的破壊を防止する。【構成】 絶縁物である塩化ビニール、ポリエステル、ポリオレフィン等を主材料とする基材31に、帯電静電気が導電する程度に導電物であるカーボン等を練り込み含有させる。
請求項(抜粋):
半導体装置組立て工程に使用されるダイシングテープにおいて、帯電静電気が導電する程度に導電物を基材に含有させたことを特徴とするダイシングテープ。
引用特許:
審査官引用 (20件)
  • 特開昭59-130438
  • 特開昭59-130438
  • 特開昭61-080834
全件表示

前のページに戻る