特許
J-GLOBAL ID：200903016977832518
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215870
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083825
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】電極パッドに対してプローブ装置の接触子を確実に接触させる。【構成】プローブ装置は半導体ウェハWの載置台13を有し、その上方にプリント配線板42が配設される。プリント配線板42には可撓性の膜状プローブカード12が取付けられる。プローブカード12は、ウェハWの電極パッドEPに接触する接触子28が配置された主領域27を有する。プローブカード21の裏面には平面性を付与するための硬質の矩形フレーム29が接合される。プローブカード21の裏側に、接触子28をウェハWの電極パッドEPと弾力的に接触させるための伸縮チャンバ54が配設される。伸縮チャンバ54とプローブカード12との間には硬質なベース56と弾性層57とを有する押圧板55が配設される。押圧板55により、主領域27がウェハWに対して平行に押出される。
請求項（抜粋）：
複数の電極パッドを具備する被検査体の電気的特性を検査するためのプローブ装置であって、前記被検査体を載置するための載置面を具備する載置台と、前記載置台の上方に配設された配線板と、前記配線板は、装置筐体に支持された高い剛性を有する基板と前記基板上に配設され且つテスタに電気的に接続されたボード配線とを具備することと、前記配線板に支持されたプローブカードと、前記プローブカードは可撓性で且つ絶縁性の膜と前記膜上に形成され且つ前記配線板の前記ボード配線に電気的に接続された可撓性のカード配線とを具備することと、前記プローブカードは、前記被検査体の前記電極パッドの夫々に接触するための複数の接触子が配置された主領域を前記載置面に対向する表側に具備することと、前記接触子はカード配線に電気的に接続されることと、前記プローブカードを前記配線板に取付けるための取付け手段と、前記プローブカードの前記主領域の裏に配設され、流体の供給と排出とにより膨脹及び収縮する伸縮チャンバと、前記伸縮チャンバは、その膨脹時に、前記プローブカードの前記主領域を裏側から押し、前記主領域の前記接触子を、前記被検査体の前記電極パッドに対して弾性的に接触させることと、前記伸縮チャンバに前記流体を供給する供給手段と、前記伸縮チャンバから前記流体を排出する排出手段と、前記伸縮チャンバと前記プローブカードの前記主領域との間に配設された高い剛性を有する平坦板と、前記平坦板は、その輪郭内に前記接触子の全てが位置するように設定されることと、前記平坦板は、前記伸縮チャンバの膨脹時に、前記プローブカードの前記主領域を、前記載置面に対して実質的に平行な状態で裏側から押すように配置されることと、を具備するプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
