特許
J-GLOBAL ID：200903016979059255
物理量センサおよび物理量センサシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159497
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012667
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】高精度、高信頼性のセンサ、センサシステムを提供すること。【構成】一つの被測定量を測定するための検出原理が異なる主センサと補助センサ、一体化集約形成したセンサの一部に診断、校正作業を行うアクチュエ-タ及び信号処理回路をマイクロマシニング、高密度実装の技術を利用して一つの筐体に複合集約形成する。【効果】センサの長寿命化とシステムの高信頼化、及びデ-タの高精度化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
入力物理量に対し、相異なる検出原理によって前記入力物理量を検出する複数のセンサを一体的に形成したことを特徴とする物理量センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101
, G01L 9/12
, G01L 27/00
