特許
J-GLOBAL ID：200903016982096064
熱処理装置及び該熱処理装置を備えた電界イオン顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-251772
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114612
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 真空槽11内で針状試料16を加熱するための熱処理装置10であって、らせん状の金属コイル12と金属コイル12に通電させる変圧器18及び電源19とを備えている熱処理装置10。【効果】 制御された雰囲気下において針状試料の熱処理を簡便かつ正確に行うことができる。
請求項（抜粋）：
真空槽内で針状部材を加熱するための熱処理装置であって、らせん状の金属コイルとこのコイルに通電させる手段とを備えていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
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