特許

J-GLOBAL ID：200903016988166650

移動ステージ装置

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281624
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115053
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 移動ステージ装置を移動させるときの回転振動を防ぐ。【構成】 Yステージ2は、3個のYリニアモータ3a〜3cによってベース1の案内面1a上をY軸方向へ往復移動される。また、Xステージ4は3個のXリニアモータ5a〜5cによってYステージ2の案内面2a,2bに沿ってX軸方向へ往復移動される。各Yリニアモータ3a〜3cは、これらの駆動力の合力がYステージ2の重心に作用するような比率に制御され、同様に各Xリニアモータ5a〜5cも、これらの駆動力の合力がXステージ4の重心に作用するような比率に制御される。

請求項（抜粋）：

案内手段に沿って所定の軸方向に往復移動自在である移動台と、これを移動させる駆動手段とからなり、前記駆動手段が、それぞれ前記移動台を前記軸方向へ移動させる少くとも3個の駆動装置と、該駆動装置のそれぞれの駆動力を前記移動台の重心位置に基づいて所定の比率に制御する制御手段を有することを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68