特許
J-GLOBAL ID：200903016988722188
圧電アクチュエータ用振動体及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078034
公開番号（公開出願番号）：特開平5-284760
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 振動体を構成する圧電素子の微細加工を実現することにより、小型化に於いても安定した品質が得られる製造方法を提供し、圧電アクチュエータや圧電モータの特性向上を得る。【構成】 圧電材に複数の圧電素子を構成するための分極パターンを形成する工程302と、前記分極パターンの各々に分極処理を施す工程303と、前記分極処理を施した圧電材に任意の電極パターンを形成する工程304と、前記電極パターンを形成した圧電材を、所定の形状に分離する工程305と、前記工程で得られた圧電素子と弾性体とを固着する工程306とからなる。
請求項（抜粋）：
弾性体と一体的に固着した圧電素子の一方の面に設けられた複数の電極パターンに電圧を印加し、前記圧電素子を振動させて弾性体を変位させ、この弾性体に接触する物体を移動または回転せしめる圧電アクチュエータ用振動体において、前記圧電素子の弾性体との固着面を電極パターン形成面よりも大きく形成することにより、前記圧電素子の側面形状が台形形状になるように形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ用振動体。
IPC (2件)：
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