特許
J-GLOBAL ID：200903016994796835
無電解めっきのための活性化触媒液および無電解めっき方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269566
公開番号（公開出願番号）：特開平9-111463
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【課題】 ハイブリッドIC、高周波誘電体フィルタなどにおける特定のパターンを有する導体膜を無電解めっきにより形成するとき、基材上に活性化膜を形成するための活性化触媒液の準備、活性化触媒液の付与による活性化膜の形成、活性化膜の特定領域の露光による活性化触媒の生成、非露光領域の活性化膜の洗浄による現像、および無電解めっき浴への基材の浸漬の一連の工程を、有機溶剤を用いることなく安全かつ能率的に進められるようにするとともに、電気伝導度、密着強度に優れためっき膜が形成されるようにする。【解決手段】 シュウ酸銅と塩化パラジウムのようなパラジウム塩とをアンモニア水のようなアルカリ溶液に溶解した、親水性の活性化触媒液を用いる。活性化触媒液自身が有機溶剤を含まず、現像工程において水により非露光領域の活性化膜を洗い流すことができ、直ちに無電解めっき浴への浸漬を行なえる。
請求項（抜粋）：
シュウ酸銅とパラジウム塩とアルカリ溶液とを含む親水性の無電解めっきのための活性化触媒液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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