特許

J-GLOBAL ID：200903017004791555

赤外線検知装置

発明者： 川田 諭 ,  大工 博 ,  土肥 正二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-213441
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062035
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 赤外線検知装置に関し、赤外線検知素子を薄膜化して熱容量を小さくし、また、赤外線検知素子と読み出し回路の間の熱伝導を小さくして高速応答化と高感度化を実現する。【構成】 アレイ状に配置された焦電体等からなる赤外線検知素子を、その下部電極71 〜74 の中央部において、この赤外線検知素子より小さい断面積を有する柱状の配線材料、例えば、不純物が導入されて低抵抗化された柱状のポリシリコン21 〜24 によって読み出し回路1から支持し、この赤外線検知素子と読み出し回路の間を熱的に分離する。この柱状のポリシリコンの側面をシリコン窒化膜3によって被覆して保護する。二次元的に隣接する4個の赤外線検知素子を単位とする中心部に、この4個の赤外線検知素子の上部電極から読み出し回路への共通の接続手段を形成し、また、個々の接続手段と共通の接続手段によって4個の赤外線検知素子を5点支持する。

請求項（抜粋）：

アレイ状に配置された赤外線検知素子が、その下部電極の中央部において、該赤外線検知素子より小さい断面を有する柱状の配線材料によって、読み出し回路から支持され、該赤外線検知素子と該読み出し回路の間が熱的に分離されていることを特徴とする赤外線検知装置。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33