精密加工用仮着接着剤

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内田亘彦 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224677
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061079
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、シリコン、ガリウムヒ素、ガラス材、磁性材、金属材、水晶、光学レンズ等の加工時の仮着に使用され、精密切断、穴開け、研磨加工や、ウエハと定盤との間の仮着といったような種々の加工の際の仮着に有用な精密加工用仮着接着剤に関し、表面平滑性、接着性、剥離性、洗浄性等に優れると共に、金属イオンの含有量が極めて低く、半導体デバイスに影響を与えることの少なく、かつ、除去に際し有機溶媒を必要とせず、環境衛生上の問題を解決しうる。【解決手段】本発明の精密加工用仮着接着剤は、酸無水物が付加されたノボラック型エポキシ樹脂、およびシェラック系樹脂を主成分とし、該樹脂混合物100重量部に対し可塑剤を3重量部〜35重量部の範囲で含有し、アルカリ水溶液に可溶なものである。

請求項（抜粋）：

酸無水物が付加されたノボラック型エポキシ樹脂、およびシェラック系樹脂を主成分とし、該樹脂混合物100重量部に対し可塑剤を3重量部〜35重量部の範囲で含有し、アルカリ水溶液に可溶であることを特徴とする精密加工用仮着接着剤。

IPC (2件)：

C09J163/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

C09J163/04 , H01L 21/304 321 B

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