特許

J-GLOBAL ID：200903017006317850

顕微鏡のケーラ照明光学系

発明者： 堀川 嘉明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209182
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059100
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 軟X線顕微鏡にケーラ照明を実現することが目的である。 【構成】 レンズL<SB>1 </SB>とレンズL<SB>2 </SB>により光源S<SB>1 </SB>の二次光源S<SB>2 </SB>を形成し、二次光源S<SB>2 </SB>の直後に設けたゾーンプレートZにより、二次光源からの光を試料T面上に照射するようにしてある。レンズL<SB>2 </SB>の焦点距離f<SB>2 </SB><pとすることで、二次光源S<SB>2 </SB>を形成する光線の主光線4を収束光線にし、ゾーンプレートZの開口数NA<SB>Z </SB>に比較してコンデンサーとしての大きな開口数NAを実現している。レンズL<SB>1 </SB>をゾーンプレート、斜入射反射鏡、レンズL<SB>2 </SB>をゾーンプレート、ピンホールのある遮光板に代えても、本発明のケーラ照明光学系を構成できる。

請求項（抜粋）：

顕微鏡のケーラ照明光学系において、ゾーンプレートによって2次光源からの光を試料上に照射するようにしたことを特徴とする顕微鏡のケーラー照明光学系。

IPC (3件)：

G21K 7/00 ,  G02B 21/00 ,  G21K 1/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-007325
  
• 特開平1-134300
  
• 特開平1-128000