有機金属気相成長方法及び有機金属気相成長装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188391
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068465
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】安定、かつ正確な原料供給を行う。【解決手段】圧力計4a,4b,4cは、原料容器1a,1b,1c内の原料蒸気圧を測定する。コントローラ2a,3aは、圧力計4aの測定値に基づいて原料容器1a内の原料蒸気圧が所定の圧力となるように原料容器1aの温度を制御する。コントローラ2b,3bは、圧力計4bの測定値に基づいて原料容器1bの温度を制御し、コントローラ2c,3cは、圧力計4cの測定値に基づいて原料容器1cの温度を制御する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の原料容器から送出される有機金属原料のガスのmol数に換算しうるパラメータの値を検出し、このパラメータの値が反応容器内の基板上に形成される前記有機金属原料を構成する金属からなる薄膜を形成するために必要な最低値よりも小さくなったときに、前記原料容器内に収容された原料を加熱し、これにより前記反応容器内に前記有機金属原料のガスを定量的に供給して前記基板上に前記薄膜を形成することを特徴とする有機金属気相成長方法。

IPC (2件)：

H01L 21/31 , C23C 16/448

FI (2件)：

H01L 21/31 B , C23C 16/448

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭62-285415
特開昭64-083663
特開昭58-086719

審査官引用 (3件)

特開昭62-285415
特開昭64-083663
特開昭58-086719

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