特許

J-GLOBAL ID：200903017012068951

加工制御データ生成方法、光加工システム及び記録媒体

発明者： 木下 真言
出願人/特許権者： リコーマイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-262666
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094165
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 ガーバーデータに基づいて、光加工装置のアパーチャーマスク及び印刷マスク材を駆動制御する加工制御データを生成することができる加工制御データ生成方法、光加工システム、及び該加工制御データ生成のプログラムを記録した記録媒体を提供する。【解決手段】 印刷マスク材60に形成する加工パターンの設計データ(ガーバーデータ)に含まれる該加工パターンを構成する加工形状の種類、寸法及び印刷マスク材60上での形成位置に関する加工形状データに基づいて、印刷マスク材60の各加工区画ごとに形成する要素形状パターンを特定する。この特定した要素形状パターンに対応する光パターンが印刷マスク材60上の所定の加工区画に照射されるようにアパーチャーマスク40及び印刷マスク材60を駆動制御するための加工制御データを生成する。

請求項（抜粋）：

複数の加工区画を有する加工対象物の該加工区画ごとに光パターン発生手段からの光パターンを照射することにより該加工対象物に加工パターンを形成する光加工装置の加工制御データを生成する加工制御データ生成方法であって、加工対象物に形成する加工パターンの設計データに含まれる該加工パターンを構成する加工形状の種類、寸法及び該加工対象物上での形成位置に関する加工形状データに基づいて、該加工対象物の各加工区画ごとに形成する要素形状パターンを特定し、該要素形状パターンに対応する光パターンが所定の加工区画に照射されるように該光パターン発生手段及び該加工対象物を駆動制御するための加工制御データを生成することを特徴とする加工制御データ生成方法。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  G03F 1/16

FI (2件)：

B23K 26/00 M ,  G03F 1/16 E

Fターム (5件)：

2H095BB02 ,  2H095BB36 ,  4E068CA13 ,  4E068CB02 ,  4E068CD10