特許

J-GLOBAL ID：200903017017737967

感光性組成物

発明者： 藤森 亨
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258765
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095437
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高感度、高解像力を有し、かつ露光-露光後ベーク(PEB)までの間の経時によるT-トップ形成、感度や解像力の低下などの問題のない、良好なレジストパターンを形成する優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】 酸の作用により分解しうる下記一般式(I)の構造の基を少なくとも1種有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物を含有する感光性組成物。式(I)中、Wは、窒素原子、-CH(-)-又は3価の有機基を表す。X、Yは同じでも異なっていてもよく、酸素原子又はイオウ原子を表す。Zは2価の有機基を表す。nは1〜15の整数を表す。

請求項（抜粋）：

酸の作用により分解しうる下記一般式(I)で表される基を少なくとも1種有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】式(I)中、Wは、窒素原子、-CH(-)-又は3価の有機基を表す。X、Yは同じでも異なっていてもよく、酸素原子又はイオウ原子を表す。Zは2価の有機基を表す。nは1〜15の整数を表す。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R