特許
J-GLOBAL ID：200903017023842225
マイクロ波共振検針器およびこれを利用したダイナミックプラズマの密度測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235402
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161992
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】高い空間分解能で低いプラズマの密度及び局部的なプラズマ密度を測定することができるマイクロ波共振検針器を提供する。【解決手段】1/4波長平行伝送路10と、伝送路10と隣接した所に位置して同軸ケーブル13に連結され伝送路10を振動させる第1磁気ループ13と、伝送路10を通じて転達された信号を外部の出力装置に出力する第2磁気ループ13と、同軸ケーブル13を囲むパイレックス管14とを備えたマイクロ波共振検針器であって、伝送路10に所定の周波数を印加し、該周波数との共振の発生を検出することで、電子素子から発生したプラズマにおける共振の発生時間及び維持時間を測定すると共に、これらの測定を印加する周波数を変える毎に繰り返すことで、与えられた位置でのプラズマ密度の時間変化を測定する。
請求項（抜粋）：
プラズマ密度を測定するマイクロ波共振検針器であって、1/4波長平行伝送路と、上記1/4波長平行伝送路と隣接した所に位置して第1同軸ケーブルに連結し、外部の周波数発生器の出力を受けて、上記1/4波長平行伝送路を振動させる第1磁気ループと、上記1/4波長平行伝送路と隣接した所に位置して第2同軸ケーブルに連結し、上記1/4波長平行伝送路を通じて転達された信号を外部の出力装置へ出力する第2磁気ループと、上記1/4波長平行伝送路を、上記第1磁気ループと上記第2磁気ループとの間に位置しかつ電気的にフローティングするように、上記両同軸ケーブルに装着させる結合手段とを備えることを特徴とするマイクロ波共振検針器。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H05H 1/00
, G01N 22/00 D
, G01N 22/00 V
