特許
J-GLOBAL ID:200903017029824016
回折格子パターン
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-237431
公開番号(公開出願番号):特開2002-055217
出願日: 1988年09月07日
公開日(公表日): 2002年02月20日
要約:
【要約】【課題】回折格子からなる各ドットを形成する際、ドット毎にマスクを変更したりする必要がなく同一条件であり、パターン作製の簡便化を図ると共に、各ドット内の回折格子を、その空間周波数,方向,曲率などを適宜に変化させることによって、表現が多彩な回折格子パターンを提供する。【解決手段】回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数,回折格子の方向,各ドットが配置されるピッチ,各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、全てのドットを、同一形状・同一の大きさとする。
請求項(抜粋):
回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数,回折格子の方向,各ドットが配置されるピッチ,各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、回折格子は電子ビーム露光により描画され、内部に回折格子が形成されて輪郭が規定される全てのドットが、同一形状・同一の大きさであることを特徴とする回折格子パターン。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2H049AA33
, 2H049AA60
, 2H049AA66
, 2H049AA68
, 2H049AA69
引用特許:
審査官引用 (20件)
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特許第4568141号
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特公昭27-000642
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特許第3515459号
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特開昭56-104604
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特開昭62-232616
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特開昭60-103310
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特開昭62-123404
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特開昭62-250401
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特公昭27-000642
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特開昭56-104604
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特開昭62-232616
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特開昭60-103310
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特開昭62-123404
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特開昭62-250401
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特公昭27-000642
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特開昭56-104604
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特開昭62-232616
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特開昭60-103310
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特開昭62-123404
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特開昭62-250401
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