特許
J-GLOBAL ID：200903017047928694
ウエハ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-002923
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186209
出願日： 1988年02月16日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ位置決部にマクロ検査機能を付加させることにより構成を簡略化し、検査工程時間を短縮できるウエハ検査装置を提供する。【解決手段】 キャリア1から選択供給されたウエハ2をミクロ観察するミクロ検査部12と、ウエハ2を回転台70に真空吸着して回転せしめウエハ2の周縁に形成された位置決用切欠部を検出して位置決めを行うウエハ位置決部とを有するウエハ検査装置において、回転台70は上下方向に移動する回転軸70aを有すると共に、この回転軸70aはジョイステイック24により任意の方向に傾斜揺動可能になっており、同一の回転台70でウエハ2の位置決め又はジョイステイック24によりウエハを傾斜揺動せしめてマクロ観察する。
請求項（抜粋）：
複数のウエハを収納したキャリアと、このキャリアから選択供給されたウエハをミクロ観察するミクロ検査部と、前記キャリアと前記ミクロ検査部との間に配置されキャリア内から搬送されたウエハを回転台に真空吸着して回転せしめウエハの周縁に形成された位置決用切欠部を検出してウエハの位置決めを行うウエハ位置決め部とを有するウエハ検査装置において、前記回転台は上下方向に移動する回転軸を有すると共に、この回転軸は電気的又は機械的に連結されているジョイステイックにより任意の方向に傾斜揺動可能になっており、同一の回転台で前記ウエハの位置決め又は前記ジョイステイックによりウエハを傾斜揺動せしめてマクロ観察することを特徴とするウエハ検査装置。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01B 21/00
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, G02B 21/00
, H01L 21/68
H01L 21/66 J
, G01B 21/00 H
, G01N 21/84 C
, G01N 21/88 E
, G02B 21/00
, H01L 21/68 M
