特許
J-GLOBAL ID：200903017049705463
ウェーハ面取り装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-165567
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000744
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】精度よくウェーハを面取り加工することができ、メンテナンスが容易なウェーハ面取り装置の提供。【解決手段】ノッチ粗研用砥石122Aが装着された第1ノッチスピンドル120Aと、ノッチ精研用砥石122Bが装着された第2ノッチスピンドル120Bの2つのノッチスピンドルを備えている。このため、1台のウェーハ面取り装置10でウェーハWの粗研加工と精研加工を行うことができる。また、各ノッチスピンドル120A、120Bは、中心位置(Y軸)に対してオフセットされた位置に設置されているため、メンテナンスがしやすい構成となる。
請求項（抜粋）：
外周研削用スピンドルに装着されて回転する外周研削用砥石とウェーハテーブルに保持されて回転するウェーハとを相対的に近づけることにより、ウェーハの外周を外周研削用砥石に押し当てて該ウェーハの外周を面取り加工するとともに、ノッチスピンドルに装着されて回転するノッチ研削用砥石と前記ウェーハテーブルに保持されたウェーハとを相対的に近づけることにより、ウェーハのノッチをノッチ研削用砥石に押し当てて該ウェーハのノッチを面取り加工するウェーハ面取り装置において、前記ノッチスピンドルは、前記外周研削用スピンドルと前記ウェーハテーブルとの間に配置されるとともに、その中心が前記外周研削用スピンドルの中心と前記ウェーハテーブルの中心とを結ぶ直線に対してオフセットされていることを特徴とするウェーハ面取り装置。
IPC (2件)：
B24B 9/00 601
, H01L 21/304 621
B24B 9/00 601 H
, H01L 21/304 621 E
3C049AA03
, 3C049AA13
, 3C049AA18
, 3C049CA01
, 3C049CA05
, 3C049CB01
