硬質炭素膜被覆部材およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234864
公開番号（公開出願番号）：特開平8-092744
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】硬質炭素膜と基体との密着性を向上することができる硬質炭素膜被覆部材およびその製造方法を提供する。【構成】基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、硬質炭素膜と前記基体との間に、少なくとも島状に分布したダイヤモンドと、炭化珪素または炭化ホウ素を含有する中間層を配したものである。このような硬質炭素膜被覆部材は、原料ガスとして、少なくとも水素と炭素含有ガスを反応室内に一定時間導入した後、さらに珪素含有ガスまたはホウ素含有ガスを反応室内に一定時間導入し、この後、珪素含有ガスまたはホウ素含有ガスの供給を停止することにより得られる。

請求項（抜粋）：

基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、前記硬質炭素膜と前記基体との間に、少なくとも島状に分布するダイヤモンドと、炭化珪素または炭化ホウ素を含有する中間層を配したことを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (6件)：

C23C 16/26 , B23B 27/14 , B23P 15/28 , C23C 16/32 , C30B 29/04 , F16C 33/24

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