特許

J-GLOBAL ID：200903017058224559

焦点合わせ方法、アライメント方法、露光方法、露光装置、並びにデバイスの製造方法

発明者： 川久保 昌治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360906
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164276
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 短時間で焦点合わせを行うことができる焦点合わせ方法及びアライメント方法を提供する。【解決手段】 基板W上の非マーク箇所MSとマークMnとの光軸方向における相対的な位置関係ΔZdiを予め記憶しておき、光軸方向と直交する方向に基板Wを移動させながら非マーク箇所MSの光軸方向における位置情報Zm’を計測し、この計測結果Zm’と記憶されている相対的な位置関係ΔZdiとに基づいて、焦点合わせに必要な前記光軸方向への基板の移動量Za’を算出する。

請求項（抜粋）：

所定の光学系の光軸方向と直交する方向に基板を移動させて、基板上に形成されたマークを前記光学系の視野内に配するとともに、前記光軸方向に基板を移動させて、前記光学系に対して前記マークを位置合わせする焦点合わせ方法において、前記マークとは異なる箇所である基板上の非マーク箇所と前記マークとの前記光軸方向における相対的な位置関係を予め記憶しておき、前記光軸方向と直交する方向に基板を移動させながら前記非マーク箇所の前記光軸方向における位置情報を計測し、該計測結果と前記相対的な位置関係とに基づいて、前記焦点合わせに必要な前記光軸方向への基板の移動量を算出することを特徴とする焦点合わせ方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/02

FI (3件)：

G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 X

Fターム (5件)：

5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046EB01 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05