特許

J-GLOBAL ID：200903017058797788

表面疵検査装置及びその方法

発明者： 山田 善郎 ,  大重 貴彦 ,  上杉 満昭 ,  的場 有治 ,  猪股 雅一 ,  吉川 省二 ,  河村 努 ,  杉浦 寛幸
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099130
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295241
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を表面ムラに影響されずに確実に検出する。【解決手段】 本発明の表面疵検査装置は、表面にムラを有する被検査面21の所定範囲をこの被検査面に対する入射面に平行な方向に直線偏光された照明光で照明する光源22と、被検査面からの受光角が、ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、照明光の正反射光を受光する第1の受光手段27と、被検査面からの受光角が、この受光角と被検査面に対する光源からの照明光の入射角との和がムラの要因物質のブリュースター角の2倍となる値に設定され、照明光の正反射光以外の光を受光する第2の受光手段28と、第1及び第2の受光手段で受光された正反射光及び正反射光以外の光に基づいて被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部31とを備えている。

請求項（抜粋）：

表面にムラを有する被検査面の所定範囲をこの被検査面に対する入射面に平行な方向に直線偏光された照明光で照明する光源と、前記被検査面からの受光角が、前記ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、前記照明光の正反射光を受光する第1の受光手段と、前記被検査面からの受光角が、この受光角と前記被検査面に対する前記光源からの照明光の入射角との和が前記ムラの要因物質のブリュースター角の2倍となる値に設定され、前記照明光の正反射光以外の光を受光する第2の受光手段と、前記第1及び第2の受光手段で受光された正反射光及び正反射光以外の光に基づいて前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備えた表面疵検査装置。