特許
J-GLOBAL ID：200903017065513043
戻り光制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324324
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159939
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 ピエゾ駆動光学ミラーが持つ個別部品構成による素子の大型化、非量産性、非経済性、高速駆動の制限等の欠点を解決し、小型・安価・高性能な戻り光制御装置を大量に供給する。【解決手段】 アンカー6から伸びた一対以上の梁5により支えられた導体または半導体から成る鏡面3を持つ可動部4と、前記アンカー6と一体化した導体または半導体から成る櫛形電極対8と、前端にレンズ作用を有する先球ファイバ11と、同先球ファイバ11を固定するV溝10aとから成り、前記可動部4と櫛形電極対8とV溝10aとが同一基板10上に形成され、前記先球ファイバ11をレンズ作用により形成されるビームウェスト位置に前記可動部4の鏡面3が位置するように配置した。
請求項（抜粋）：
固定部から伸びた一対以上の梁により支えられた導体または半導体から成る鏡面を持つ可動構造体と、前記固定部と一体化した導体または半導体から成る静電駆動機構と、前端にレンズ作用を有する光ファイバと、同光ファイバを固定するファイバガイド溝とから成り、前記鏡面を持つ可動構造体と静電駆動機構とファイバガイド溝とが同一基板上に形成され、前記光ファイバをレンズ作用により形成されるビームウェスト位置に前記可動構造体の鏡面が位置するように配置したことを特徴とする戻り光制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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