特許
J-GLOBAL ID:200903017077988756
銅及び銅合金の表面処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 馨 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-189348
公開番号(公開出願番号):特開平6-033268
出願日: 1992年07月16日
公開日(公表日): 1994年02月08日
要約:
【要約】【構成】 銅又は銅合金の表面を塩化第二鉄を含有する水溶液に好ましくは界面活性剤又は/及び銅表面の酸化防止剤を含有せしめた水溶液からなるエッチング液により処理して清浄化、粗面化、あるいは活性化するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を測定して、酸化還元電位が設定値付近に保持される様に塩化第二鉄を含有する水溶液の新液を供給し、エッチング液の組成を一定に保ってエッチングを行うことを特徴とする銅又は銅合金の表面処理方法。【効果】 銅、銅合金の表面処理を連続して均一に行うことができ、更に、界面活性剤、酸化防止剤を含有せしめることにより、油膜除去、酸化防止処理も同時に行うことが出来る。
請求項(抜粋):
銅又は銅合金の表面を塩化第二鉄を含有する水溶液からなるエッチング液により処理して清浄化、粗面化、あるいは活性化するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を測定して、酸化還元電位が設定値付近に保持される様に塩化第二鉄を含有する水溶液の新液を供給し、エッチング液の組成を一定に保ってエッチングを行うことを特徴とする銅又は銅合金の表面処理方法。
IPC (2件):
引用特許:
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