特許
J-GLOBAL ID:200903017078651585
微粒子凝集塊解砕装置および被膜形成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
和気 操
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-175245
公開番号(公開出願番号):特開2008-001968
出願日: 2006年06月26日
公開日(公表日): 2008年01月10日
要約:
【課題】エアロゾル中のセラミックス微粒子凝集塊を、コンタミレスで微細に、かつ、連続的に解砕可能な微粒子凝集塊解砕装置、および該解砕装置を利用した被膜形成装置を提供する。【解決手段】エアロゾルを基材上に噴射・衝突させてセラミックス被膜を形成するエアロゾルデポジション法で用いられ、基材への噴射前においてエアロゾル中のセラミックス微粒子凝集塊を解砕する微粒子凝集塊解砕装置であって、エアロゾル導入部2と、エアロゾル導出部3とを有する解砕容器4と、解砕容器4内に入れられる複数個のボール5と、解砕容器4を振動させる振動手段6とを備えてなり、上記エアロゾルは、導入部2から容器4内に導入された後、セラミックス微粒子凝集塊が、振動手段6による容器4の振動に伴い、ボール5または容器壁と、衝突または摺接して解砕されて、導出部3より導出される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
セラミックス微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材上に噴射・衝突させてセラミックス被膜を形成するエアロゾルデポジション法で用いられ、前記基材への噴射前においてエアロゾル中でセラミックス微粒子同士が凝集したセラミックス微粒子凝集塊を解砕するための微粒子凝集塊解砕装置であって、
前記微粒子凝集塊解砕装置は、前記エアロゾルの導入部と、前記エアロゾルの導出部とを有する解砕容器と、該解砕容器内に解砕媒体として入れられる複数個のボールと、該解砕容器を振動させる振動手段とを備えてなり、
前記エアロゾルは、前記導入部から解砕容器内に導入された後、該エアロゾル中のセラミックス微粒子凝集塊が、前記振動手段による解砕容器の振動に伴い、ボールまたは容器壁と、衝突または摺接して解砕されて、前記導出部より導出されることを特徴とする微粒子凝集塊解砕装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (7件):
4K044BA13
, 4K044BB01
, 4K044BC06
, 4K044CA23
, 4K044CA29
, 4K044CA51
, 4K044CA71
引用特許:
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