特許
J-GLOBAL ID：200903017081806387
有機化合物用蒸発源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-204583
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049072
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】大量の有機化合物モノマー全体を短時間に設定温度となし得る蒸発源を提供すること【解決手段】真空処理室3内に設けた基板4上に高分子膜を成膜する蒸発源1であって、有機化合物モノマーAを収容した蒸発容器1aと、該蒸発容器を加熱する加熱装置1bを備えた蒸発源に於いて、該蒸発容器を熱伝導性の良い金属製の金属蒸発容器とし、該金属蒸発容器を熱媒体が流通する液体加熱装置で加熱した【効果】大量の有機化合物モノマー全体を短時間に設定温度でしかも一定温度に維持することができ、基板に一定膜厚の高分子膜を迅速に成膜できる
請求項（抜粋）：
真空処理室内に設けた基板上に高分子膜を成膜する蒸発源であって、有機化合物モノマーを収容した蒸発容器と、該蒸発容器を加熱する加熱装置を備えた蒸発源に於いて、該蒸発容器を熱伝導性の良い金属製の金属蒸発容器とし、該金属蒸発容器を熱媒体が流通する液体加熱装置で加熱したことを特徴とする有機化合物用蒸発源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/12
, C23C 14/24 B
