特許

J-GLOBAL ID：200903017091761802

光走査型二次元濃度分布測定装置

発明者： 野村 聡 ,  高松 修司 ,  中尾 基
出願人/特許権者： 財団法人地球環境産業技術研究機構 ,  株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-247110
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068713
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】 二次元濃度分布を時系列的に行うことができる光走査型二次元濃度分布測定装置を提供すること。【解決手段】 半導体基板5の一方の面にセンサ面7を有し、前記半導体基板5に対して光源4からの光をプローブ光3として二次元的に照射するように構成するとともに、前記プローブ光3の照射を高速に行うことにより、時系列測定を行うようにしている。

請求項（抜粋）：

半導体基板の一方の面にセンサ面を有し、前記半導体基板に対して光源からの光をプローブ光として二次元的に走査しながら照射するように構成するとともに、前記プローブ光の照射を高速に行うことにより、時系列測定を行うようにしたことを特徴とする光走査型二次元濃度分布測定装置。

IPC (3件)：

G01N 27/416 ,  G01N 21/49 ,  G01N 21/64

FI (4件)：

G01N 27/46 U ,  G01N 21/49 Z ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 27/46 353 Z