特許

J-GLOBAL ID：200903017112969603

表面検査方法及び装置

発明者： 杉浦 美奈子 ,  久保田 重夫 ,  江口 直哉
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239501
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083465
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 容易で、かつ確実に表面の凹凸欠陥を検出することができ、また表面全体の凹凸欠陥を短時間で検出することができる表面検査方法及び装置を提供すること。【解決手段】 光源12から発生される可視領域の波長を有する光を、線形状に光学系13で整形し、これを検査物であるLCD9の表面9aに対して、斜め方向から照射する。LCD9の上方に配設されたCCD撮像装置26を有する観測系14で、線状の光RがLCD9の表面9aに入射された部分pに凹凸欠陥がない場合には、暗い領域として判断される領域Nに、散乱光Sが検出されたか否かによって凹凸欠陥qを検出する。

請求項（抜粋）：

検査面に対して斜め方向から、光を前記検査面の一部に照射し、前記検査面の前記光が入射する部分に、許容以上の大きさの凹凸欠陥がある場合に、前記光が散乱するようにし、前記部分に前記凹凸欠陥がない場合には、所定以下の低い輝度を有する暗い領域であると検出される領域内で、この散乱した光を検出することにより、前記検査面の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする表面検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/47 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/47 Z ,  G01N 21/88 Z ,  G06F 15/62 400