特許

J-GLOBAL ID：200903017119133144

角速度センサおよびその製造方法

発明者： 山崎 稔夫 ,  緒方 基樹 ,  高嶋 義則 ,  小西 稔二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066342
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267449
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】 第1の振動体および第2の振動体の駆動状態が不安定になるということのない特性の向上した角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 第1の振動体22および第2の振動体23をフォトリソグラフィにより形成するとともに、第1の振動体22および第2の振動体23の双方の根元に第1の振動体22および第2の振動体23における軸心を中心に左右対称にフォトリソグラフィ残留部29を設け、出力特性の安定する構成とした。

請求項（抜粋）：

駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第1の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第2の振動体と、前記第1の振動体の一端部と前記第2の振動体の一端部とを接続する接続部とを備え、前記第1の振動体および第2の振動体をフォトリソグラフィにより形成するとともに、第1の振動体および第2の振動体の双方の根元に第1の振動体および第2の振動体における軸心を中心に左右対称にフォトリソグラフィ残留部を設けた音叉からなる角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105BB04 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13