単結晶引き上げ用ルツボ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198275
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025185
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】本発明は、高価なC/C材からなる部分を含むルツボの消耗を防ぐことのできる、シリコン単結晶引き上げ用ルツボを提供することである。【解決手段】単結晶引き上げ用ルツボ1を、炭素繊維強化炭素複合材料で形成された外側部分2と、少なくともその一部3aに炭素繊維強化炭素複合材料からなる部分を備える内側部分3とによって構成する。

請求項（抜粋）：

直胴部とR部を含む底部とからなり、少なくとも前記直胴部と前記R部とが炭素繊維強化炭素複合材料で形成された外側部分と、前記外側部分の内側に嵌められて交換可能な二重構造を形成し、少なくとも前記R部に接する部分は炭素繊維強化炭素複合材料で形成された内側部分とを有してなる単結晶引き上げ用ルツボ。

IPC (2件)：

C30B 15/10 , C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B

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