特許
J-GLOBAL ID：200903017138179392
高出力ビーム発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-166756
公開番号（公開出願番号）：特開平6-209131
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 高価な手段なしでも高い信頼性を以て点弧し得る高出力のレーザビーム発生装置、例えばUV-又はVUV用のエキシマレーザを提供する。【構成】 外部石英管1と内部石英管2とで挟まれたエキシマレーザの放電空間7に対して、外部石英管1の一部12を内外石英管の間げきの約1/2まで突出させたり、あるいは内部石英管2の一部を同様に放電空間7の内側に向って突出させる。あるいは石英、酸化アルミニウム又は酸化チタンからなる小球を内、外の両石英管2,1の放電空間7に接する面上にとりつけて放電間げきを局部的に狭めてガス放電の開始を確実容易にする。
請求項（抜粋）：
高出力ビーム発生装置例えば紫外光用高出力ビーム発生装置であって、放電条件下でビームを送出する充填ガスで充填された放電空間(7)を有し、該放電空間の壁が外側誘電体構成部分(1)と両側誘電体-構成部分(2)により形成されており、ここにおいて、上記外側誘電体構成部分(1)の外側に第1電極(4)が設けられており、上記第2誘電体構成部分の、当該放電空間から離隔したほうの表面に第2電極(3;3′)が設けられており、更に上記第1(4)、第2電極(3;3′)に接続された交流電源(11)が当該放電に対する給電のために設けられている当該高出力ビーム発生装置において、上記放電空間(7)中に局所的なフィールドディストーションないし電界のひずみを生じさせるための手段(12;12a...13)が設けられていることを特徴とする高出力ビーム発生装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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