特許
J-GLOBAL ID：200903017139259950
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110723
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321186
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】簡単な構造で吸着面を高精度にしかも安価にすることが可能な静電吸着装置を提供すること。【構成】本発明では、絶縁性誘電体材料を一枚のみ使用し、しかも所定の吸着力を確保するため部材の複数個所において小さな面積の部分で厚さを薄くする構造とした。【効果】本発明によって、誘電体材料を一枚で構成できる簡単な構造のため安価となり、しかも吸着力が大きく、吸着面の面精度を高精度に出来る静電吸着装置を実現することが出来た。
請求項（抜粋）：
被保持物体と電極との間に絶縁性誘電体部材を介して電圧を印加し、被保持物体を電極上に吸着保持する静電吸着装置において、誘電体部材の電極側の一部の厚さを薄くしたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
