特許

J-GLOBAL ID：200903017142940499

照度分布測定方法及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 三上 晃司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360797
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204104
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 投影光学系によるレチクルの投影面上の照度分布を高精度に測定することができる照度分布測定方法及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 照明系からの光束で面積の略等しい複数の開口パターンを2次元的に等間隔に配列したレチクルを照明し、該レチクルの投影光学系による投影面近傍に該レチクルの1つの開口パターンを通過した光束のみを通過させる開口部を有した絞りと、該絞りの開口部を通過した光束を検出する光電変換器とを有する受光手段を設け、該受光手段を該投影面と平行な平面内で2次元的に移動させることにより、該投影面内の照度分布を測定するようにしたこと。

請求項（抜粋）：

照明系からの光束で面積の略等しい複数の開口パターンを2次元的に等間隔に配列した照度分布測定用のレチクルを照明し、該レチクルの投影光学系による投影面近傍に該レチクルの1つの開口パターンを通過した光束のみを通過させる開口部を有した絞りと、該絞りの開口部を通過した光束を検出する光電変換器とを有する受光手段を設け、該受光手段からの信号を利用して該投影面内の照度分布を測定するようにしたことを特徴とする照度分布測定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 311 L