複数検出器電子顕微鏡装置のリアルタイム処理方式

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055961
公開番号（公開出願番号）：特開2001-243905
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】従来の技術では、複数検出器による複数画像によるデータ量の多さから、連続的に実時間で処理することは困難であった。【解決手段】画面入出力領域と画像データ入出力領域を指定する機能を持ったフレームメモリを各検出器毎に設けて、論理和形の合成器により画像を構成する手段と、合成器の前後にフレームメモリを設けて、局所的な速度変換を行う手段を用いる。【効果】複数の検出器で連続的に撮影する電子顕微鏡装置において、複雑な制御を無しに、複数の撮影画像を同一画面で、連続的なリアルタイム出力ができる。

請求項（抜粋）：

フレーム単位で繰り返し撮影される複数画像に対し、複数の画像積算回路で並列処理して画像改善を施す第1の手段と複数画像の合成を実行する第2の手段、合成した画像を処理、または表示する第3の手段において、第1の手段と第2の手段、さらに、第3の手段の間に少なくとも、入出力ポートを持ち、それぞれのポートが画素同期クロック、水平同期信号、垂直同期信号を備える画像データを少なくとも1フレーム記憶でき、さらに、入出力ごとに画面入出力領域と画像データ入出力領域が指定できる入出力で独立にシーケンシャル動作する第4の手段であるフレームメモリを設けて、画素同期クロック、水平同期信号、垂直同期信号を制御して画像データを転送する第5の手段を設けて、複数撮影画像の合成行うことを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (7件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , G06T 3/00 300 , H01L 21/66 , H04N 1/387 , H04N 5/265 , H04N 7/18

FI (7件)：

H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 A , G06T 3/00 300 , H01L 21/66 J , H04N 1/387 , H04N 5/265 , H04N 7/18 B

Fターム (52件)：

4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DJ11 , 4M106DJ19 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057BA01 , 5B057BA03 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CD07 , 5B057CE02 , 5B057CE08 , 5B057CH04 , 5B057CH05 , 5B057CH09 , 5B057CH11 , 5B057CH14 , 5C023AA11 , 5C023AA31 , 5C023AA36 , 5C023AA37 , 5C023AA38 , 5C023BA11 , 5C023DA04 , 5C023EA03 , 5C054AA01 , 5C054CA04 , 5C054CC02 , 5C054EA01 , 5C054EA05 , 5C054EC01 , 5C054EC03 , 5C054EC06 , 5C054EH00 , 5C054EJ05 , 5C054HA01 , 5C054HA05 , 5C076AA19 , 5C076AA22 , 5C076BA01 , 5C076BA03 , 5C076BA05 , 5C076BA06 , 5C076BB06 , 5C076CA02

前のページに戻る