特許

J-GLOBAL ID：200903017156185901

空間光変調素子及びそれを用いた投射光学装置

発明者： 小山 元夫 ,  下村 英明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281485
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】ゴースト光によるコントラストの減少を防止することができる空間光変調素子と、それを利用した投射光学装置を提供する。【解決手段】反射面5a上に光変調層5bを設けた空間光変調素子5において、反射面5aを、光変調層5bの表面と平行でない多数の微小反射面からなるように、非平面状に形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

反射面上に光変調層を設けた空間光変調素子において、前記反射面を、前記光変調層の表面と平行でない多数の微小反射面からなるように、非平面状に形成したことを特徴とする空間光変調素子。

IPC (4件)：

G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 21/00 ,  G03B 21/28

FI (4件)：

G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 21/00 D ,  G03B 21/28