特許
J-GLOBAL ID：200903017156630050
積層型圧電素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289049
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142780
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 突出の高さ及び幅の揃った内部電極突出部を形成することにより、内部電極と外部電極とを確実に接続し、導通不良や絶縁不良を防止することができる積層型圧電素子の製造方法を提供すること。【構成】 焼結体形成工程において形成された焼結体41のPt電極12aとAg-Pd電極12bとが交互に露出した側面に対して、内部電極突出工程によるエッチング処理を施すことにより、Pt電極12aのみが選択的に突出して内部電極突出部16が形成される。そして、外部電極接続工程において、外部電極である銅箔15と内部電極突出部16とが異方性導電膜13を介して電気的に接続される。
請求項（抜粋）：
内部電極を耐酸性電極材料と非耐酸性電極材料とを左右に配置することにより形成し、側面において前記耐酸性電極材料と非耐酸性電極材料とが交互に露出するように前記内部電極と圧電材料とを交互に複数枚積層することにより焼結体を形成する焼結体形成工程と、前記内部電極が露出した側面において、エッチング処理を施すことにより前記圧電材料と非耐酸性電極材料とを溶解させ、耐酸性電極材料のみを選択的に突出させることにより内部電極突出部を形成する内部電極突出工程と、内側に異方性導電膜を有する外部電極を、前記側面上に連続して形成することにより、その外部電極を前記異方性導電膜を介して前記内部電極突出部に電気的に接続する外部電極接続工程と、から成ることを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 Q
, H01L 41/22 Z
