特許
J-GLOBAL ID：200903017157672253
静電マイクロリレー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194448
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023497
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 二次側配線と可動電極との間に発生する静電引力を遮蔽し、静電引力による可動電極の誤動作を防止できる静電マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】 可動電極23に対向する固定接点25のプリント配線14a,15aに、絶縁膜16aを介して少なくとも一層の導電性薄膜16を積層した。
請求項（抜粋）：
固定基板に設けた固定電極と可動基板に設けた可動電極とを対向配設し、前記固定電極と可動電極との間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動電極を駆動し、この可動電極の対向面に設けた可動接点を前記固定接点に接離し、電気的に開閉する静電マイクロリレーにおいて、前記可動電極に対向する前記固定接点の二次側配線の少なくとも一部に、絶縁膜を介して少なくとも一層の導電性薄膜を積層したことを特徴とする静電マイクロリレー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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