特許

J-GLOBAL ID：200903017167055694

角速度検出素子の振動数調整方法と角速度検出素子

発明者： 森川 健志 ,  大▲桑▼ 政幸 ,  野々村 裕 ,  塚田 厚志
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 下出 隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139953
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 X軸,Y軸方向の固有振動数のうち、Y軸方向の固有振動数のみを独立して調整する。【構成】 角速度検出素子10は、基部12の一端から振動片14,16を平行に突出して備え、その反対側端面において固定枠に保持される。また、両振動片の付け根の股部における基部12の主面の一部領域(角速度検出素子10における振動数調整領域)には、振動数調整体28が形成されている。この振動数調整体28の形成領域は、振動片をX軸に沿った振動状態に置いた場合とY軸に沿った振動状態に置いた場合における応力の差が大きな領域であり、振動数調整体28のZ軸方向の長さz1 は振動片の幅W0 の2.5倍の長さに等しく、X軸方向の幅x1 は、両振動片間の間隔Dにほぼ等しい。そして、振動数調整体28にエッチング,半田つけ等の振動数調整処置を施してその剛性を変化させ、Y軸方向の固有振動数fyを調整する。

請求項（抜粋）：

振動に関与しない固定部に固定された基部と、該基部の一端から平行に並んで突出した少なくとも2本の振動片とを有する角速度検出素子の直交する2方向の固有振動数を調整する方法において、前記各振動片の並びに沿った方向をX軸と規定し、該X軸に沿って前記振動片を振動させた場合の該振動片の固有振動数を求める工程と、前記X軸と前記振動片の長手方向とに直交する方向をY軸と規定し、該Y軸に沿って前記振動片を振動させた場合の該振動片の固有振動数を求める工程と、前記Y軸と直交する前記基部の主面における所定領域の振動数調整領域であって、前記各振動片の股部から前記振動片の長手方向と平行に前記基部側に所定距離だけ入り込んだ前記振動数調整領域の剛性を、前記両固有振動数の差に応じて増減する工程とを備えることを特徴とする角速度検出素子の振動数調整方法。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/21

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-029012
  
• 特開平4-102013
  
• 特開平2-058914