特許
J-GLOBAL ID：200903017168920852
液晶セルに対するTABの位置合わせ光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-042107
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230406
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 XY移動テーブル6に載置された液晶セル2の位置合わせマークMLa,MLb、およびTABの位置合わせマークMTa,MTbに対して、照明光を照射する光源811 とハーフミラー812 よりなる投光系81を設ける。各位置合わせマークを包含する視野を有する対物レンズ821 と、対物レンズ821 により集光された、マークMTaとMLaの反射光LRaと、マークMTbとMLbの反射光LRbとをそれぞれ区別して反射する2つの反射面Ra,Rb を有するプリズムミラー822 、およびその反射光をそれぞれ受光し、マークMTaとMLaおよびマークMTbとMLbの各映像を別個に、かつ同時に受像する2個の受像カメラTV.AとTV.Bとから構成される。【効果】 液晶セル2とTAB3の、広い間隔の両マーク(MTa,MLa)と両マーク(MTb,MLb)の映像が、2個の受像カメラに同時に受像されるので各マークのXY座標が迅速に求められ、従来の光学系における、両側の各マークに対する交互の繰り返し移動による受像が不必要となり、その分位置合わせ時間が短縮される。
請求項（抜粋）：
方形をなす液晶セルをXY移動テーブルに載置し、該液晶セルの周辺部に形成された複数組の入力リード線群に対して、TABをロボットハンドにチャックし、その出力リード線群を接続するための位置合わせにおいて、前記液晶セルの1組の入力リード線群に対して、前記ロボットハンドにより前記TABの出力リード線群を接近させ、該接近した入力リード線群と出力リード線群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位置合わせマークMLa,MLb、およびTABの位置合わせマークMTa,MTbに対して、照明光を照射する光源とハーフミラーよりなる投光系を設け、該各位置合わせマークを包含する視野を有し、該各位置合わせマークの反射光を共通に集光して結像する1個の対物レンズと、該対物レンズにより集光された、それぞれ対応する前記両マーク(MTa,MLa)の反射光と、前記両マーク(MTb,MLb)の反射光とをそれぞれ区別して反射する2つの反射面を有するプリズムミラー、および該プリズムミラーの各反射面による反射光をそれぞれ受光し、前記対物レンズにより結像された該両マーク(MTa,MLa)と、該両マーク(MTb,MLb)の各映像を別個に、かつ同時に受像する2個の受像カメラよりなる受像系とを設けて構成されたことを特徴とする、液晶セルに対するTABの位置合わせ光学系。
IPC (2件)：
G02F 1/1345
, G02F 1/13 101
