特許

J-GLOBAL ID：200903017170478636

セラミックスヒータ

発明者： 前田 榮造 ,  針田 彬
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341192
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174949
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】電力密度が高く、急速加熱が可能で、かつ均熱性の高いセラミックスヒータを提供する。【構成】Fe-20Cr-5Alステンレス鋼の30μm厚さの箔を用い、エッチングにより大きさ45×25mm、抵抗60Ωの面状発熱体を製作し、50mm×30mm×厚さ1mm、熱伝導率150W/mKの窒化アルミニウム焼結体に圧力200g/cm2 をかけて挾み込んだセラミックスヒータ。

請求項（抜粋）：

金属製の面状発熱体を、2枚の窒化アルミニウム焼結体の間又は窒化アルミニウム焼結体と他のセラミックスとの間に密着介装したことを特徴とするセラミックスヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/14 ,  C04B 35/58 104

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-236186
  
• 特開平3-226986
  
• 特開平1-231285