特許

J-GLOBAL ID：200903017179915540

光記録媒体用スタンパの製造方法

発明者： 矢竹 正弘 ,  西川 尚男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-278939
公開番号（公開出願番号）：特開平6-131707
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 高性能高信頼性の光記録媒体用スタンパを提供する。【構成】 原盤の上に、ポジ型のレジスト層を形成し、光記録媒体の所定のパターンに露光および現像し、金属膜で表面を導体化し、さらに金属層を電鋳し前記原盤から剥離して作成される光記録媒体用スタンパにおいて、前記ポジ型のレジスト層を形成する前または前記レジスト層を露光する前に水溶性樹脂層を形成する。

請求項（抜粋）：

原盤1の上にポジ型のレジスト層2を形成し、光記録媒体の所定のパターンに露光および現像し、金属膜6で表面を導体化し、さらに金属層7を電鋳し前記原盤1から剥離して作成される光記録媒体用スタンパ8において、前記レジスト層2を塗布した後に水溶性樹脂層3を形成し、該水溶性樹脂層3の上から、または該水溶性樹脂層3を除去した後、前記ポジ型のレジスト層2を露光することを特徴とする光記録媒体用スタンパの製造方法。