特許

J-GLOBAL ID：200903017199609144

単結晶育成装置

発明者： 前野 悦輝 ,  菊川 直樹 ,  西村 博
出願人/特許権者： NECマシナリー株式会社
代理人 (6件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-064103
公開番号（公開出願番号）：特開2005-247668
出願日： 2004年03月08日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】 原料棒および/または種結晶棒が蒸発し易い材料であっても単結晶を育成可能な単結晶育成装置を提供する。【解決手段】 回転楕円面鏡11,12の一方側の焦点F1,F2に配置された加熱源13,14と、他方側の共通焦点F0の被加熱部15を囲む石英管23と、石英管23内にあって上結晶駆動軸16に支持された原料棒17と、下結晶駆動軸18に支持された種結晶棒19とを有する単結晶育成装置10において、前記石英管23内に少なくとも原料棒17を囲繞するように、蒸発物吸着ジャケット24を設け、その端部24aの位置を、溶融帯42の中心部から50±20mmの範囲内に設定した。蒸発物吸着ジャケット24は、冷却媒体通路を有し、この冷却媒体通路に冷却媒体供給口と冷却媒体出口とを設けて冷却媒体で冷却し、溶融帯からの蒸発物質を蒸発物吸着ジャケット24で吸着する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

回転楕円面鏡と、この回転楕円面鏡の一方の焦点に配置された加熱源と、回転楕円面鏡の他方の焦点に配置された原料棒および種結晶棒と、この原料棒および種結晶棒を囲繞する石英管とを有し、前記加熱源の赤外線を回転楕円面鏡で反射して他方の焦点に配置された原料棒および種結晶棒に照射して単結晶を育成する単結晶育成装置において、 前記原料棒または、原料棒および種結晶棒を囲繞する蒸発物吸着ジャケットの端部位置を、原料棒および種結晶棒の溶融帯中央部から50±20mmの範囲内に設定したことを特徴とする単結晶育成装置。

IPC (1件)：

C30B13/24

FI (1件)：

C30B13/24

Fターム (7件)：

4G077AA02 ,  4G077BC15 ,  4G077CE03 ,  4G077EG15 ,  4G077EG25 ,  4G077EG30 ,  4G077NE03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-88790号公報(第2欄第9行〜第4欄第32行、第2図〜第4図)
  
• 特公昭63-62873号公報(第2欄第12行〜第4欄第32行、図2〜図4)
  

審査官引用 (4件)

• 特公昭63-062873
  
• 特開平4-135601
  
• 特公昭63-062873
  
• 特開平4-135601