特許

J-GLOBAL ID：200903017202763494

スピンナーチャック

発明者： 佐合 宏仁 ,  藤山 重美 ,  工藤 勝彦 ,  熊澤 博嗣
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229344
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061134
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 シールリングを介してガラス基板等をスピンナーチャックで吸引する場合に、ガラス基板裏面にシール跡がつかないようにし、且つガラス基板の変形を抑制する。【構成】 スピンナーチャック1の平板部2の表面には内側シールリング5及び外側シールリング6が同心状に設けられ、内側シールリング5よりも内側の平板部中心および内側シールリング5と外側シールリング6との間の部分に真空ポンプにつながる吸引孔7...が開口している。そして、内側シールリング5及び外側シールリング6は、芯がゴムで表層が四フッ化フルオロエチレンとした二層構造となっている。

請求項（抜粋）：

板状被処理物を吸引保持して回転せしめるスピンナーチャックにおいて、このスピンナーチャック表面には吸引孔が開口し、この吸引孔を囲むようにスピンナーチャック表面にシールリングを設け、このシールリングは芯をゴムとし表層を四フッ化フルオロエチレンとした二層構造としたことを特徴とするスピンナーチャック。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/68