特許
J-GLOBAL ID：200903017207816944
樹脂製光学部品の高反射ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166211
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346502
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 高温・高湿環境下においても高反射ミラーとしての面精度を高精度に維持する。【構成】 基板1の片面には、順次、所定のピッチで配列された三段型格子形状をもつ樹脂製のレプリカ層2に対して密着性および耐湿性の良好な金属膜からなる下地層3、高反射率をもつ金属反射膜層4、金属反射膜層4を保護するための保護膜層5が積層されている。下地層3は、レプリカ層2の格子形状が複雑に変化・湾曲することを軽減させるため、室温乃至100°Cの範囲において、レプリカ層2の熱膨張係数を100パーセントとしたときに6パーセント以上の熱膨張係数をもつ金属膜とする。
請求項（抜粋）：
階段型格子形状をもつ樹脂製のレプリカ層と、前記レプリカ層上に反射膜層が積層された色分解用の回折格子であって、前記回折格子は、前記レプリカ層と前記反射膜層との間に、室温乃至100°Cの範囲において、レプリカ層の熱膨張係数を100パーセントとしたとき6パーセント以上の熱膨張係数をもつ下地層が積層されたことを特徴とする樹脂製光学部品の高反射ミラー。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開昭58-029630
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特開昭58-029629
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特開昭60-006903
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