特許
J-GLOBAL ID：200903017216945250
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294076
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、試料上から放出された2次電子をレンズで結像し表示する電子顕微鏡に関し、1次電子で試料を平面的に照射し放出された2次電子をレンズで拡大して結像し、この結像した画像を表示することにより、ウェハなどの厚い試料の表面の2次電子像を高速かつ広範囲に渡って観察可能にすることを目的とする。【解決手段】 1次電子を放射する電子源と、この電子源から放射された1次電子を集束する第1のレンズと、この第1のレンズで集束された1次電子を試料上で観察対象の部分に均一に照射させるように結像すると共に、試料上から所定電界強度で引き出された2次電子を結像する第2のレンズと、この第2のレンズによって結像された2次電子の像を受光面に結像させる第3のレンズと、この受光面に結像された2次電子の像を電気信号に変換して取り出す撮像装置と、この撮像装置によって取り出した電気信号をもとに画面上に2次電子の像を表示する表示装置とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡である。
請求項（抜粋）：
試料上から放出された2次電子をレンズで結像し表示する電子顕微鏡において、1次電子を放射する電子源と、この電子源から放射された1次電子を集束する第1のレンズと、この第1のレンズで集束された1次電子を試料上で観察対象の部分に均一に照射させるように結像すると共に、試料上から所定電界強度で引き出された2次電子を結像する第2のレンズと、この第2のレンズによって結像された2次電子の像を受光面に結像させる第3のレンズと、この受光面に結像された2次電子の像を電気信号に変換して取り出す撮像装置と、この撮像装置によって取り出した電気信号をもとに画面上に2次電子の像を表示する表示装置とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/29
, H01J 37/244
, H01J 37/248
H01J 37/29
, H01J 37/244
, H01J 37/248 B
