特許

J-GLOBAL ID：200903017217685040

積層形圧電アクチュエータ

発明者： 梶原 浩一 ,  早津 昌樹 ,  福井 伊津志
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348087
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183586
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】偏荷重や水平方向の回転力が加圧上板に加わっても積層形圧電素子が破壊されない積層形圧電アクチュエータを提供する。【構成】ケーシング16と、駆動源としての積層形圧電素子18と、積層形圧電素子18により駆動される加圧上板20と、ケーシング16の側板14と加圧上板20の側面との間に挟持され、加圧上板20を水平に支持する弾性部材22と、積層形圧電素子18の上端と加圧上板20との間に介在される上部受け部材24と、積層形圧電素子18の下端と底板12との間に介在される下部受け部材26とで構成されている。下部受け部材26は、上面が積層形圧電素子18の下端面に接合されると共に、下面中央部に球面状の凹部26Aが形成され、底板12中央部に形成された球面状の凸部12Aと係合する。また、上部受け部材24は、下面が積層形圧電素子18の上端面に接合されると共に、上面中央部に球面状の凹部24Aが形成され、加圧上板20の下面中央部に形成された球面状の凸部20Aに係合する。

請求項（抜粋）：

底板と側板とで筒状に形成されたケーシングと、前記ケーシング内で前記底板の中央部にその積層方向下端が支持され、駆動電圧が印加されることにより積層方向に伸縮駆動する積層形圧電素子と、その中央部が前記積層形圧電素子の積層方向上端に支持され、前記積層形圧電素子の伸縮駆動と共に動作する加圧上板と、前記ケーシングの側板と前記加圧上板の側面との間に挟持され、前記積層形圧電素子の伸縮駆動を阻害しないように加圧上板を水平に支持する弾性部材と、から成る積層形圧電アクチュエータに於いて、前記積層形圧電素子と前記加圧上板の間と、積層形圧電素子と底板の間との少なくとも一方の間を、球面接合したことを特徴とする積層形圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/083 ,  F03G 7/00