特許
J-GLOBAL ID：200903017225661362
表面形状測定用トレーサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121994
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256640
出願日： 1984年08月18日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 被測定物表面をその形状に沿って移動する触針の変位によって表面形状を測定する表面形状測定用トレーサにおいて、触針の移動に応じて摺動する摺動部の摩擦損失を軽減し、かつある方向の変位が他の方向の変位に影響することのないトレーサを提供する。【構成】 基台16に対してそれぞれ直交方向に移動自在なXスライダ22,Yスライダ20,Zスライダ18を介して触針24が支持されている。この基台16および3つのスライダの間の摺動部には加圧空気が送出され空気軸受けを構成することにより、極めて摩擦の少ない構成をなしている。また、この基台16とZスライダ18と、Zスライダ18とYスライダ20と、Yスライダ20とXスライダ22との各々の相対変位を検出するZセンサ68,Yセンサ,Xセンサ76の3つのセンサが設けられている。これら3つのセンサによって、触針24の変位量を求める。
請求項（抜粋）：
基台から吊りばねによって上下方向移動可能に吊り下げ支持されたZスライダと、前記Zスライダ移動方向の直交方向に移動可能であり、摺動面に加圧空気を供給してなる空気軸受けにより前記Zスライダに摺動自在に支持されるYスライダと、前記ZスライダとYスライダの各々の移動方向に対し直交方向に移動可能であり、摺動面に加圧空気を供給してなる空気軸受けにより前記Yスライダに摺動自在に支持されるXスライダと、前記Xスライダに連結固定され、ワークの表面に沿って摺動する触針と、前記Xスライダと前記Yスライダの相対変位を電気信号に変換するXセンサと、前記Yスライダと前記Zスライダの相対変位を電気信号に変換するYセンサと、前記Zスライダと前記基台の相対変位を電気信号に変換するZセンサと、を有し、前記ワークの表面形状に沿って移動する触針の変位を前記Xセンサ、Yセンサ、Zセンサによって検出することを特徴とする表面形状測定用トレーサ。
IPC (3件)：
G01B 21/20 101
, B23Q 35/26
, G01B 7/28
